为了降低热式气体质量流量计两个铂电阻之间的影响,传感器的两个探头选用交织散布的方法,并且在两个铂电阻之间加上隔热胶,削减由于探头之间的对流换热形成的影响。

能够看到经过MEMS技能能将两根铂电阻丝集成在很小的硅片基体上。封装后的热式气体质量流量计传感器体积能够做到很小,减小对原有流场的破坏,且具有非常好的热传导性。

新型热式气体质量流量计样机,使丈量准确度由现在的10%进步到了1.5%, 达到了天然气计量的准确度。 流量规模由现在的1∶40进步到了1∶100,使1台流量计的丈量规模代替了原有3台流量计的组合,进步了天然气流量仪表的功能和功效。 技能方面,达到以下技能指标:

(1)热式气体质量流量计口径:50mm。

(2)丈量准确度:1.5级。

(3)流量:200m3/h。

(4)丈量规模:1∶100。

(5)呼应时刻:≤100ms。

(6)供电方法:(8~24)VDC。

(7)热式气体质量流量计输出:RS485接口与计算机衔接,调整相关的参数,输出用户需求的瞬时流量、累积流量、实时温度。